天津中環 RTP-小型快速退火爐

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摘要

采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現快速降溫。應用於半導體或太陽能電池基片退火。也可用於快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、矽化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入後退火、薄膜沉積等工藝試驗

產品介紹

產品描述


產品應用:


該電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現快速降溫。應用於半導體或太陽能電池基片退火。也可用於快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、矽化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入後退火、薄膜沉積等工藝試驗


產品特點:


可在真空/氣氛/空氣等不同環境下通過快速移動爐體,加之強風冷設計,可對樣品進行快速升降溫處理;管內測溫設計,溫控精度高,升溫速率50℃/s;緊湊的台式設計,快速連接法蘭,減少了爐管因安裝造成損壞的可能,方便操作。


產品名稱

RTP-小型快速退火爐

產品型號

RTP-G11103-K

額定功率

9KW

額定電壓

220AC 50/60Hz

最高溫度

1000°C 

連續工作

950°C(<1 小時)

加熱區長度

300mm

恒溫區長度

100mm

加熱元件

紅外燈管

溫度控製

國產程序控溫係統可編程50段程序控溫;

控製精度

±1℃

石英管尺寸

Φ110*380MM

爐管材質

石英管

滑動距離

355mm

滑動方式

手動滑動

建議升溫速度

室溫900℃:30℃/sec
900℃~1000℃: 10℃/sec

外形尺寸

950 X 350 X 530 mm 

重量

45Kg

標準配置

氣路總成一套(含真空壓力表)石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個。


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